渦輪分子泵系統廣泛應用于各種領域,包括質譜分析、泄漏檢測和半導體制造。這些復雜的系統需要高真空才能有效運行,它們通過隔膜泵來達到這些真空度。在這些應用中,與其他類型的泵相比,隔膜泵技術具有多項優勢。
渦輪分子泵如何工作?
渦輪分子泵利用旋轉的金屬渦輪葉片使氣體分子通過一個腔室。分子流入泵的進氣口,葉片將它們進一步推向腔體。然后對其進行壓縮,再從排氣口流出。渦輪分子泵需要在高真空條件下才能有效工作。它們通常依靠粗抽泵(有時稱為前級泵)來產生真空。之所以需要如此低的真空度,是因為葉片的運動速度非???,無法應對大氣壓下產生的空氣摩擦。
渦輪分子泵在各種應用中都很常見。它們是質譜儀器的重要組成部分,有助于創造高真空環境,確保精確測量。它們在掃描電子顯微鏡中也起著類似的作用,因為在掃描電子顯微鏡中,也需要高真空的環境來進行高倍率分析。它們還用于泄漏檢測和環境分析應用,以及同樣需要高真空的半導體應用。
隔膜泵的巨大優勢
隔膜泵常常被用作粗抽泵,為渦輪分子系統產生真空。如果沒有足夠高的真空,渦輪分子泵就無法有效運行。在某些情況下,它們根本無法啟動。KNF 提供極限真空低至 0.5 mbar abs. 的隔膜泵。除了能夠達到所需的預真空度外,與其他泵技術相比,它們還具有一些額外優勢。
隔膜泵的真空度穩定,使用壽命長,維護成本低。它們無油運行,不會發生泵送介質交叉污染的可能。KNF 泵可配備直流無刷電機 (BLDC),可控制泵的運行速度,以及調節設置參數。這對于渦輪分子泵來說非常重要,因為這種泵需要快速啟動,然后再減速到運行速度。隔膜泵還可配備氣鎮,用于有濕氣的場合。KNF 泵可按任何方向安裝和組裝,還可選擇 N 84 系列等便攜式解決方案,以滿足體積小、重量輕的要求。
各種隔膜泵解決方案
KNF 為粗加工泵應用提供各種解決方案。N 952 可以快速對真空腔降壓,同時保持最佳性能,直至最終真空。它可以達到 1.5 mbar abs.的最大真空度,同時提供 36 l/min 的最大流量。它有多種配置和電機可供選擇,包括數字可調電機。
N 813 也是粗抽泵的理想選擇,最大真空度可達 0.5 mbar abs.,最大流量為 13 l/min 。 它提供無污染的介質傳輸,防止關閉后的回流污染,同時還能防止流出的空氣污染介質。N 813 還可配備可定制的電機,以滿足粗加工泵應用所需的參數設置。
N 952
N 813
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