目錄:杭州域勢科技有限公司>>EBARA真空泵>> EV-SA20,EV-SA30,EV-SA50EBARA EV-SA系列干泵
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 1670L/MIN |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 330l/s | 電壓 | 220V |
| 功率 | 3kW | 極限壓力 | 0.53pa |
| 流量 | 100-300m3/h | 排出口徑 | 80mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 揚程 | 1m |
| 葉輪數(shù)目 | 多級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,航天 |
| 最大工作壓強 | 大氣壓 |
EBARA/荏原 EV-SA系列真空干泵
EBARA EV-SA系列干泵
是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計，最大排氣速度達到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實驗室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的zuijia選擇。
技術(shù)特點：
l 小型、輕量、占地面積小
l 風冷
l 節(jié)能
l 低噪音
l 雙螺桿結(jié)構(gòu)
l 無需維護
l 認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL
典型應(yīng)用：
l 科研實驗室
l PVD真空鍍膜
l 質(zhì)譜儀
l 等離子清洗
l 半導(dǎo)體、光伏制程
技術(shù)參數(shù)：
EBARA EV-SA系列干泵
設(shè)備名稱 | 單位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |||||||
排氣速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |||||||
極限壓力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |||||||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW40 | NW40 | NW50 | ||||||
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | |||||||
極限壓力時功率概值 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |||||||
冷卻方式 |
| 空冷 | 空冷 | 空冷 | |||||||
電源 | 額定電壓 50/60Hz |
| 單相 200-240V | 單相 200-240V | 單相 200-240V | ||||||
電壓允許波動范圍 |
| ±10% | ±10% | ±10% | |||||||
電源容量 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |||||||
質(zhì)量概值 | kg | 65 | 90 | 150 | |||||||
*為氣鎮(zhèn)打開時數(shù)值 | |||||||||||
尺寸圖：
型號 | EV-SA20 | EV-SA30 | |
尺寸（mm） | 長 | 584 | 713 |
寬 | 324 | 356 | |
高 | 347 | 347 | |
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