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當前位置:上海首立智慧科技有限公司>>HORIBA(過程&環境)>> DIGILEM-CPM-Xe/Halogen實時膜厚檢測儀

實時膜厚檢測儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地

更新時間:2023-07-27 13:09:14瀏覽次數:394次

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產地類別 進口 應用領域 建材,電子,汽車,電氣 實時的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環,系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。

概要

實時的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環,系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。

特征

  • 監測透明薄膜的厚度和高度,如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
  • 適用于等離子體頻譜分析。
  • 生產線使用內置軟件。
  • 終點檢測法的靈活應用。
  • *的加工特點。

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