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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空干燥
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空干燥
可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。
感應電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）
采用多電壓兼容電機
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充
| 型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
| 吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排氣口 | NW40 | |||||||
| DRP表面處理 | 〇 | |||||||
| 電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次側 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次側 調整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
| 軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節器調節壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻"。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
愛發科銷售有限公司
愛發科科技有限公司
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