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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-100 VH (高)真空快速退火爐RTP-100

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RTP-100 VH (高)真空快速退火爐RTP-100

具體成交價以合同協議為準

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First-Nano System GmbH 

  • 2003年          創立于德國德累斯頓工業大學(Dresden University of Technology)

  • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(香港)有限公司   

  • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(香港)有限公司中國代表處,負責中國區業務

  • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(深圳)有限公司,更好的為中國南方區市場

     

德國韋氏納米系統成立以來,一直為客戶想的更多,Thinking more !!!

 

產品范圍:

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

等離子清洗機,均膠機,薄膜沉積,刻蝕

應用領域:

  • 離子注入/接觸退火;

  • 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

  • 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環境下使用;

  • SiAu, SiAl, SiMo合金化;

  • 低介電材料;

  • 晶體化,致密化;

  • 太陽能電池片鍵合;

  • 電阻燒結

  • 其他熱工藝需求

  • 等等...

 

 

產品特點:

- 真空快速退火爐,有RTP-100型號    低真空(10-3 hPa)

                                  RTP-100-HV      高真空(10-6 hPa);

- 可應用在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;

- 控制方式:SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏控制;

- 可存儲50個程序,每個程序最多分為50步驟控制;

- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、冷卻水均可自動設置;

- 優異的溫控均勻性,的工藝重復性;

 

技術規格:

- 最高溫度:1200℃;

- 升溫速率:150℃/秒;

- 降溫速度:200℃/分鐘 (1000℃-->400℃);

- 溫控均勻性:≤ 1.5%設定溫度;

- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱,也可單獨控制加熱

- 燈管數量及功率:18支/20KW

- 腔體冷卻:水冷方式,獨立冷卻源

- 襯底冷卻:氮氣吹掃;

- 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);

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氧化擴散設備


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