300KV透射電鏡Spectra 300 TEM
適用于所有材料科學和半導體應用的高分辨率TEM和STEM顯微鏡
Spectra 300 (S)TEM的主要特點
Spectra 300 (S)TEM可配置高能量分辨率電子源
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還可配置超高亮度X-CFEG光源 提供最高分辨率的STEM成像性能
Panther STEM探頭系統具有的靈敏度
先進的STEM成像能力
Spectra 300 (S)TEM靈活的能譜配置
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Spectra 300 (S)TEM的原位功能
Spectra 300 (S)TEM的規格
圖像矯正器 | 能量散布：0.2–0.3 eV 信息限制：60 pm STEM 分辨率：136 pm
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探針矯正器： | |
未校正 | 能量散布：0.2–0.3 eV 信息限制：100 pm STEM分辨率：136 pm
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X-FEG/單色器雙校正（探針+圖像矯正器） | |
X-CFEG 雙校正（探針+圖像校正） | |
離子源 | X-FEG Mono：高亮度肖特基場發射槍和單色器，可調諧能量分辨率范圍為 1-<0.2 eV X-FEG UltiMono：高亮度肖特基場發射槍，配備超穩定單色器和加速電壓，可調諧能量分辨率范圍為 1eV-<0.03eV X-CFEG：固有能量分辨率<0.4 eV 的超高亮度 30 – 300 kV 的靈活高張力范圍
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