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南京譜量光電科技有限公司

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上海某工業用戶 TLRB系列標準型基礎測試探針臺順利安裝交付

閱讀:257      發布時間:2024-7-17
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上海某前沿科創企業 TLRB系列標準型基礎測試探針臺 交付驗收


核心指標:

真空吸附卡盤:6英寸

樣品臺位移精度:<10μm

探針座位移精度:<3μm

漏電流精度:<10pA

兼容多種光學顯微鏡,可外引光路實現光電mapping測試

是半導體材料或器件電學測試的理想選擇


TLRB系列探針臺簡單介紹:

.模塊化設計,可以搭配不同構件完成不同測試;

. 最大可用于12英寸以內樣品測試;

.探針臺整體位移精度高達3μm,樣品臺精密四維調節;

. 兼容多種光學顯微鏡,可外引光路實現光電mapping測試;

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內);

. 探針座采用進口交叉滾珠導軌,線性移動,無回程差設計;

. 加寬探針放置架,可放置6個DC探針座/4個RF探針座

. 配顯微鏡二維精密調節功能,且可選配多種行程及驅動方式。






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