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產品簡介
探針臺可吸附多種規格芯片與器件，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成對有機半導體器件的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。該類儀器主要通過連接儀器及待測物實現器件的參數提取，通過自帶的驅動及測試軟件能夠獨立實現器件的電學特性測試，為精密器件提供一個良好的系統平臺。
詳細介紹
通過探針接觸的方法給器件施加光電信號來測量半導體器件伏安特性（即電壓-電流特性）的儀器，在測量及選用半導體器件時有著廣泛的用途。
1、探針臺系統
1-1載物臺XY行程：200x200mm，帶鎖死功能，Z軸行程：10mm，移動分辨率為1um
1-2 載物臺采用多圈吸附環固定樣品，真空吸附，真空開關獨立控制，四個
2、顯微鏡系統 Motic PSM-1000
2-1長工作距離，四孔物鏡轉盤
2-2總放大倍數：50x-1000x
3、測試及屏蔽系統
3-1 探針座XYZ移動范圍：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
3-2配置主動氣浮式防震桌尺寸：1200mm x 800mm x 800mm
3-3 配置低噪無油空壓機和真空泵
探針臺