溫度范圍 | -55~200/300°C | 分辨率 | <2μm |
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真空盤可調節高度 | ±5mm | 臺面精度 | 平面度:<10?μm |
產品簡介
詳細介紹
X200M高低溫手動屏蔽探針臺擁有穩定可靠的測試平臺,保證測試中的扎針質量。優異的光學系統結合分辨率<2μm的針座系統,確保扎針的穩定性。直流應用中,X200M高品質的電纜和三軸信號通路,可使DUT特性分析達到fA水平;射頻應用中,通過縮短擴頻模塊與探針之間連接器的距離,可高效且更好地實現THz內器件高品質參數的提取。優異的三軸低漏電載物臺選件,提高器件測試的信心。載物臺的單手快速移動及升降、一體化真空開關等優化設計使操作流程更加簡潔與人性化,無論是初學者還是經驗者,使用起來都非常方便、易懂。
專門為升級和擴展所設計的各種選項, 可輕松實現如負載牽引系統、太赫茲系統、 輻照系統、1/f噪聲等系統的搭載,X200M 系統也可根據您的未來項目需求重新配置。
高低溫手動屏蔽探針臺產品特點
?機臺可輕松實現 - 60~200/300°C 高低溫測試。
?提供芯片級I-V / C-V低噪聲全 金屬屏蔽測試系統方案。
?可輕松實現太赫茲及擴頻模塊的 升級搭載。
?多孔吸附式載物臺設計,更好地 兼容薄晶圓固定。
?優異的屏蔽系統可搭載高低溫, 為芯片提供更加成熟穩定的老化 測試環境。
?短軸式拉桿設計,將更加符合新 一代芯片系統測試的需求。
?多種可選CHUCK類型,滿足常 規及高壓等特殊條件的測試。