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產品名稱: 美國Teledyne API SCI-552 -臭氧發生器控制器
型號系列:SCI-552
品牌:Teledyne API
產地:美國
訂貨號:SCI-552
美國Teledyne API臭氧發生器控制器SCI-552介紹：
SCI-552是臭氧輸送系統的控制器，能夠為很多系統部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。SCI-552基于軟硬件特點，提供了很多系統聯鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。
美國Teledyne API臭氧發生器控制器SCI-552特征：
RS-232 MODBUS遠程支持
**多控制2臺臭氧發生器
**多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
**多控制4臺質量流量控制器
**多控制2臺背壓控制器
**多控制2個EV閥
**多控制1臺水冷卻器
系統聯鎖輸入
遠程系統級別控制和狀態輸入/輸出
化學氣相沉積(CVD)
原子層沉積(ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
粒子清潔
光刻膠去除
其他
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