產品名稱：INFICON傳感器(ALD)
品牌：美國INFICON
產地：美國
型號：ALD

在 ALD 應用中實現**準確度、正常運行時間和**少維護
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平（QCM）測量的可重復性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450oC 的高溫，設計在嚴苛的 ALD 應用環境中運行。裸露的晶體電極*接地以有效地消除與電干擾有關的任何潛在問題。

專為 ALD 而設計
INFICON ALD 傳感器*的一種功能是導氣管，通過它可使用惰性氣體吹掃晶體和傳感器后側，通常使用氮氣。這可防止反應室的氣體進入傳感器頭，并確保晶體背面和電氣觸點無沉積材料。這種技術可在不適合使用標準 QCM 的系統中實現現場測量。

饋入件和饋入件連接
INFICON ALD 傳感器可采用自定義焊接長度，也可采用長度可調的壓縮接頭而無需銅焊或焊接。所有配置都使用 2 ?in. (CF40) ConFlat 法蘭饋入件。

高溫晶體實現更準確的測量
與 INFICON 的新型高溫石英晶體結合使用時，INFICON ALD 傳感器可在高溫應用中達到**測量精度和較低的頻率噪聲。這些高溫晶體針對 120、240 和 285°C 應用進行了優化，因此您總能獲得適合自己應用的正確晶體。也可提供針對其他溫度優化過的晶體。

美國INFICON英福康傳感器ALD功能：

工作溫度高達 450°C
氣體吹掃管路可防止晶體背面出現沉積材料
焊接式 Conflat 法蘭 (CF40) 選件
O 形密封環壓縮接頭選件
提供高溫晶體

美國INFICON英福康傳感器ALD好處：

與大多數 ALD 過程溫度兼容
明顯減少維護工作
**化系統運行時間
**化測量精度
在高過程溫度下可獲得低噪聲的穩定讀數

典型應用

原子層沉積 (ALD)

INFICON 是市場創新儀器、關鍵傳感器技術和先進過程控制軟件供應商，致力于提升高級工業真空工藝的生產率和質量。這些分析、測量和控制產品對于空調/制冷、汽車制造和售后服務市場的氣體泄漏檢測至關重要。它們對許多領域的設備制造商和最終用戶意義重大，包括光學、平板顯示器、太陽能電池和工業真空鍍膜應用的半導體和薄膜涂層的復雜制造領域。我們真空工藝的其他用戶分布于生命科學、科研、航空航天、包裝、熱處理、激光切割和許多其他工業工藝領域。我們還利用自身在真空技術方面的專業知識，為應急響應、安保、環境健康和安全領域提供有毒化學分析產品。