德國Diener 等離子蝕刻機(jī)Tetra 8 RIE

用途：



表面清洗活化

表面蝕刻




Tetra 8 RIE 產(chǎn)品特點：





適用于8"以下樣品的處理

等離子蝕刻機(jī)，可實現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕

全局的工藝氣體通過氣浴進(jìn)氣實現(xiàn)了均勻的氣體分布

電極水冷確保了樣品的溫度不會偏高

工業(yè)Windows控制系統(tǒng)，多段程序控制功能，實現(xiàn)一鍵蝕刻功能

適合于研究院、高校、研發(fā)中心等使用，也可小批量生產(chǎn)