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SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品NIST主要用于校準表面分析中的濺射深度標度和腐蝕速率。其周期性結構由八個定義明確的金屬/金屬界面組成,可用于在多個深度獲得精確校準。 SRM 2135c 已通過總鉻 (Cr) 和鎳 (Ni) 厚度、單元素層間均勻性、Ni 和 Cr 雙層均勻性(周期性)和單層厚度 [1-3] 的認證。以質量/面積為單位表示的認證厚度值在題為“認證值和不確定性"的部分中給出。
SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品NIST 的一個單元由拋光的硅 (100) 基板上的九個交替金屬薄膜層、五層純鉻和四層純鎳組成。各個層的厚度通常為 57 nm(Cr 為 57 nm,Ni 為 56 nm)。經認證的樣品面積由基材的全寬(1.0 厘米)和以 2.54 厘米長的基材為中心的 2.0 厘米長度確定(見圖 l)。
認證到期:
如果按照本證書中提供的說明處理、存儲和使用 SRM,則本 SRM 的認證在規定的測量不確定度內被視為是無限期的。但是,如果 SRM 被更改、污染或損壞,認證將失效。
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