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日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)器參數(shù)
日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)器參數(shù)
一、產(chǎn)品特點(diǎn)
● 通過(guò)更換傳感器就可以檢測(cè)多種氣體的半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器
● 傳感器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)和交付，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)氣體校準(zhǔn)。此外，無(wú)需工具即可輕松更換傳感器
● 小巧·輕便的設(shè)計(jì)
● 通過(guò)LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報(bào)警狀態(tài)和錯(cuò)誤信息
● 采樣流量的自動(dòng)控制功能
● 當(dāng)插入與設(shè)置不同的傳感器時(shí)，傳感器具有防止錯(cuò)誤插入的功能
● 通過(guò)連接PDA，可以獲取存儲(chǔ)在檢測(cè)單元中的數(shù)據(jù)
● 轉(zhuǎn)換器單元（選件）可用于檢測(cè)NF3和CCl2。
● 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
● 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
二、產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | PS-7 | ||
類型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 附帶轉(zhuǎn)換器組件型 | |
檢測(cè)原理 | 定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 | 熱分解+定電位電解式 | |
采樣方式 | 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動(dòng)控制） | ||
采樣配管 | 特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi) | ||
氣體濃度顯示 | 液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖 | ||
報(bào)警接點(diǎn) | •氣體報(bào)警（1段以及二級(jí)） 報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 | ||
外部輸出 | 氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用） 氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無(wú)電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位 故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動(dòng)復(fù)位） | ||
適合電纜線 | 控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 | ||
使用溫度濕度范圍 | 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露） | ||
使用電源 | DC24V±10% | ||
消耗電力 | 約7w | 約10w | |
尺寸 | •W62xH124xD143mm(除去突起物) | ||
重量 | 約1.0kg | ||
氣體一覽表
型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S |
PS-7NH | NH3 | 100ppm | PS-7GH | GeH4 | 1ppm | PS-7HS | H2S | 50ppm |
PS-7SH | SiH4 | 25ppm | PS-7CL | CL2 | 5ppm | PS-7CO | CO | 250ppm |
PS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | PS-7CF | CLF3 | 1ppm | PS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
PS-7AS | AsH3 | 250ppb | PS-7HC | HCL | 25ppm | PS-7F2 | F2 | 5ppm |
PS-7PH | PH3 | 1ppm | PS-7HF | HF | 1ppm | PS-7OZ | O3 | 1ppm |
PS-7BH | B2H6 | 500ppb | PS-7HF | BF3 | 1PPM | PS-7NO | NO | 100ppm |
PS-7SE | H2Se | 250ppb | PS-7HB | HBr | 10ppm | |||