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易度智能層流原理流量計和控制器無需旁通毛細管預熱,流量測量在一定條件下,只有壓差一個變量,壓差信號通過壓力波傳播,可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現象,保證傳感器的線性、重復性,使得產品具有具有高精度、高重復性、快速響應等優勢,
特征:
l 原理:層流壓差式原理
l 便捷操作:可觸屏點擊操作、讀取流量,或者提供上位機軟件操作。
l 核心優勢:高精度、高重復性、快速響應
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內
l 實時測量、顯示溫度、壓力、流量等多過程參數
l 內置49種氣體,,一鍵自由切換氣體,無需查找、輸入系數,
l 可測控混合氣體,用戶自主編輯設定混合氣體,操作簡單
l 無需預熱時間,開機即可使用,即插即用。
產品規格:
l 產品型號:MFM:S系列,M系列,P系列; MFC:SC系列,MC系列
l 量程范圍:0.5sccm~5000slpm
性能參數:
l 精度:±1.0%RD,±1.0%S.P.
l 重復精度:±0.2%F.S.
l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基準100KPa(絕壓))
l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度20℃)
l 工作范圍:1%~120%F.S.
l 響應時間:MFM≤100ms. ; MFC≤100ms
l 啟動預熱時間:1s
使用條件:
l 介質溫度:-20℃~60℃
l 環境溫度:-20℃~50℃
l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)
l 工作壓力:0~1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 供電電壓:24V±20%
l 消耗電流:<150mA (<5V)
l 安裝方式:任意角度
l 接氣部材質:SUS304,SUS316L,航空鋁材
l 進出口:管螺紋(內螺紋)
l 接氣部密封材質:橡膠圈密封:氟橡膠
通訊方式:
l 數字信號:RS485,Profibus
l 模擬信號:4-20mA,0-5V
應用場景
l 配套流量校準平臺的流量測量設備
l 實驗中的氣體流量測量
l 機械動力測試系統中的氣體流量測量
l 材料制備實驗中的中的氣體流量測量
l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量測量
l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量測量
l 高精度實驗儀器的研發和試制
l 分析測試儀器
易度智能層流原理流量計和控制器通用于低壓氣體測控領域,產品抗電磁干擾強,可靠性穩定性好,寬溫度、寬壓力、寬流量范圍,精度高,響應速度快,性能方面遠超傳統流量計。基于用戶不同場景,易度又開發了低高溫型、低壓損型、寬量程型等適用不同工況環境的產品系列,使得易度流量計和控制器可匹配應用于更復雜嚴苛的工況環境,助力用戶解決問題。