Regulus系列超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡現(xiàn)有機(jī)型SUB240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、 Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性觸，配備SU8200系列的低喝音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分析車提高到0.9 nm,Regulus8100的分析車提高到1.1 nm,觀察性能與現(xiàn)有機(jī)型相比提高了20%左右。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍事也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1,Regulus8240/82 30/8220/8100還完善了用戶支持功船，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的最佳性能。僅限Regulus8240/8230/8220。

Regulus系列超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡特點(diǎn)：

沿用"SU8200系列”的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀索的區(qū)間，使得低加速電壓條件下業(yè)備高分析觀察和分析的最佳性能與現(xiàn)有機(jī)型相比分解車提高了20%左右

(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV. Regulus8100; 1.1 nm/1 kV采用污染小，高真空樣品倉(cāng)運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀索到多種成分對(duì)比度*2