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高低溫真空探針臺進行真空環境下的高低溫測試（4.2k-500k），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作。溫度均勻性好，溫度傳感器采用有著良好穩定性和重復性的PT100或者標定過的硅二管做為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性，探針熱沉設計，LD/ED/PD的光強/波長測試自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。應用于高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機
t 機械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
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