產品展示
CV-1000切割硅片導輪輪廓測量儀
【簡單介紹】
【詳細說明】
日本三豐輪廓測量儀CV-1000 CV-2000
簡單介紹
◆數字檢出型輪廓形狀測定機 CV-1000N2/2000M4 特長:■由于將X軸、Z軸加以數字化,所以不必*仰賴于測定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測定。■與計算機連接并加上計算機解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測定與分析。■若不連接計算機,亦可連接XY繪圖機,并可在繪圖機的數據處理機上先行確認圖形或量測方式是否正確。
◆數字檢出型輪廓形狀測定機 CV-1000N2/2000M4 特長:■由于將X軸、Z軸加以數字化,所以不必*仰賴于測定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測定。■與計算機連接并加上計算機解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測定與分析。■若不連接計算機,亦可連接XY繪圖機,并可在繪圖機的數據處理機上先行確認圖形或量測方式是否正確。
技術參數
X軸 | 測量范圍 | 50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000 | |
分辨率 | 0.2μm | ||
測量方法 | 反射型光柵尺 | ||
驅動速度 | 0.2mm/s | ||
測量速度 | 0.02-5mm/s | ||
測量方向 | /向后 | ||
直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(當X軸在水平方向上 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L為驅動長度(mm) | ||
傾斜范圍 | ±45°(CV-2000) | ||
Z1軸 | 測量范圍 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
測量方法 | 弧形編碼器 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H為水平位置上的測量高度(mm) | ||
探針上下運作 | 弧形運動 | ||
探針方向 | 向下 | ||
測力 | 10-30mN | ||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
材料 | 硬質合金針尖 | ||
基座尺寸(H) | 750x600mm(CV-2000) | ||
基座材料 | 花崗巖(CV-2000) | ||
重量 | 主機 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
控制裝置 | 14kg | ||
遙控箱 | 0.9kg | ||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 150W僅限主機 |
性能參數
型號 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1軸測量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1軸測量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2軸測量范圍 | - | 250mm | 320mm |
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