產品性能：

SF6氣體回收設備

該機組用于真空冶煉、真空鍍膜、焊接、干燥及化工制藥、電力真空器件等行業作為抽真空使用，本機組的工作壓力為9萬 Pa-10Pa，所能達到的極限真空≤１０Pa。具有啟動快、抽速大、性能穩定、操作簡便等特點。該機采用手動和自動控制兩種，自動可編程控制器PLC為主機控制，文本顯示器監控組合機運行狀態，性能可靠，穩定，抗*力強。

產品特點：

SF6氣體回收設備抽真空充氣*高、能耗少
SF6氣體抽真空充氣裝置高精度熱偶真空計，簡潔實用
設計*，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了
裝置控制系統采用技術的SF6閥門
設備采用移動式結構，方便現場使用，便于移動，不傷害地面
整機體積小、總量輕、噪聲低
裝置極限真空度小于10Pa
裝置年泄漏率小于1%
充氣系統壓力小于0.8Mpa

操作說明：

（1）啟動機組前首先檢查各泵的油位情況是否有足夠的油位＞2/3油標。

（2）當設備正確接電源啟動后，在操作面板上先按下抽真空按鈕啟動真空泵，再打開高真空球閥，進行抽真空

停機步驟：1、先關閉高真空球閥再關閉真空泵，切不可顛倒順序。

（３）充氣步驟：先打開充氣球閥，再打開充氣調壓閥進行充氣，其壓力控制在所需范圍

停機步驟：1、先關閉所有閥門再關閉調壓閥，切不可顛倒順序。

技術參數：

1、回收
回收初壓力≤0.8MPa
回收終壓力≤50KPa
回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力50KPa，回收時間小于2.5小時。
2、充氣
對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小于0.8小時。
3、抽真空
裝置極限真空度小于等于10 Pa
對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小于1.0小時。
4、貯存
貯存容器容積0.05m3
名義液態貯存量50kg
貯存壓力3.8 MPa
5、凈化
對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經本裝置一次回收凈化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）