臺式光刻機參數(shù)：
1.最大曝光面積:160mm*160mm
?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
4.光源強度:35mW/cm2
5.曝光波長:LED光源(進口燈珠，壽命>1萬小時)
6.曝光方式:定時(倒計時方式)
7.掩模樣片相對運動范圍:X:優(yōu)于±5mm;
8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
9.掩模尺寸:7英寸，樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
10.數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
12.對準方式:自動對準，可根據(jù)客戶需求，增加對準標記的類型，累計不超過4組
13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉)，含預對準定位功能
14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設定)
15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準，光學合像
16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
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