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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMS80V系列真空步進電機高精度通用平移臺
l行程覆蓋50mm、100mm、150mm
l堅固的臺身設計
l真空環境使?
l免費標準版SDK
產品簡介
FMS80V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS80基礎上，我們設計了FMS80V系列真空專?位移臺。FMS80V廣泛適用于真空環境的應?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環境、多種輻射環境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環境中仍然能夠保持高精度運行。
產品應用
l激光打靶
l器件調整
l?能物理
性能實測
接線定義
電機接?
產品圖紙
FMS80V-50
FMS80V-100
FMS80V-150
產品參數
Model | FMS80V-50 | FMS80V-100 | FMS80V-150 |
?程(mm) | 50 | 100 | 150 |
負載(Kg) | 10 | 10 | 10 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 | 0.625 |
最?步進量(μm) | 1 | 1 | 1 |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±2 | ±2.5 | ±3 |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 | ±1.5 |
定位精度/保證值(μm) | ±10 | ±12 | ±15 |
定位精度/典型值(μm) | ±5 | ±6 | ±8 |
最?速度(mm/s) | 10 | 10 | 10 |
直線度(μm) | 10 | 12 | 15 |
平整度(μm) | 10 | 12 | 15 |
偏擺 | 20 | 25 | 30 |
俯仰 | 20 | 25 | 30 |
重量(kg) | 4 | 4.4 | 4.8 |
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