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[供應]YAMATO等離子灰化機
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  • YAMATO等離子灰化機
貨物所在地:
浙江杭州市
更新時間:
2022-03-26 21:00:07
有效期:
2022年3月26日 -- 2022年9月26日
已獲點擊:
92
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產品簡介

YAMATO等離子灰化機,PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制(PR500/510)
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

詳細介紹

YAMATO等離子灰化機,PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制(PR500/510)

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途:

  • 去除光刻膠
  • 部品清洗
  • 界面活性處理
  • 微研磨
  • 硅晶圓,玻璃基板對應

特征:

  • 大口徑(Φ215mm)石英反應腔
  • 小型一體化設計

操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)

技術參數:

型號

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動協調

反應部

反應腔

石英 Φ215×305mm

反應氣體

2系統(O2/CF4)

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規格書

重量

約60kg

參照規格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

PR200/300/301,從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

 用途:

  • YAMATO等離子灰化機高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響)。同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。
  • 硅晶圓蝕刻。
  • 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
  • 石棉預處理(膜過濾灰化)。
  • 從電子設備到生化市場。
  • 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
  • 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
  • 表面有機物去除。

特點:

  • RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
  • 由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。
  • 同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。
  • 等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。
  • 同步、自動調諧(PR200)。

技術參數:

型號

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出

Max300W

頻率

13.56MHz

同調方式

手動2軸同調方式

反應部

反應腔

耐熱玻璃 Φ100×160mm

超硬質玻璃 Φ64×160mm×3室

耐熱玻璃 Φ118×160mm

反應氣體

1系統(氧氣)流量計

控制

手動密閉閥

自動減壓、自動密閉閥

配管材質

不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

約10kg

約36kg

約34kg

電源

AC100V 15A

AC100V 7A

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