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是專門針對高溫氣體檢測所研制一款高精度質量流量計，承受溫度達到120°。在結構設計上，本產品采用的MEMS流量傳感器芯片技術，結合高速數字處理電路和特殊流道設計，用來對氣體流量/質量流量進行高精度測量，該產品具有精度高、響應速度快、集成度高等優點。
該產品可根據客戶需要，設計IP65級及以上的防水、防塵保護，以及汽車級抗震設計。
此系列MFM的量程從20SCCM到 200SLM，典型精度為滿量程的1%（0.3%和0.5%可選），輸出信號可選擇：4-20mA模擬信號、0-5V模擬信號、RS485數字信號、EtherCAT, CC-Link等多種通信方式，供電電壓為DC24V（±10%）。
精密氣體流量計產品應用于：醫療儀器、環境分析儀器、光譜色譜分析儀器、泄漏檢測、熱力分析、其他氣體流量控制行業等
精密氣體流量計高溫特性好（溫度120℃）
超小的體積，適合系統集成
高精度及*的零點穩定性
超快的響應時間及穩定時間
良好的重復性和再現性
可模擬采集、控制或數字采集、控制
良好的防水防沉和抗震性能，適用于多種場合
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