国产一卡2卡三卡4卡麻豆_了解最新日韩草逼视频_h片在线播放一区_国产激情影视在线_好了av四色综合无码久久_欧美黑白双插OOR720P_日本精品中文字幕在线_秋霞午夜手机影院_亚洲国产一区二区3da毛片_欧美杂交深喉video中文字幕

您好, 歡迎來到化工儀器網

| 注冊| 產品展廳| 收藏該商鋪

400 006 6550

technology

首頁   >>   技術文章   >>   ALD,至關重要!

青島芯笙微納電子科技有限...

立即詢價

您提交后,專屬客服將第一時間為您服務

ALD,至關重要!

閱讀:418      發布時間:2024-5-24
分享:

原子層沉積(ALD)是一種在半導體制造中使用的關鍵工具,尤其在目前的節點上用于晶體管和互連制造。盡管過去ALD被認為速度太慢而不實用,但隨著對精確成分和厚度控制的需求不斷提高,ALD的價值得到了肯定,因此在制造過程中花費額外時間進行ALD沉積是值得的。

圖片



ALD是化學氣相沉積的一種變體,最初被廣泛引入半導體行業用于制造高介電常數柵極電介質的氧化鉿。與化學氣相沉積(CVD)類似,ALD也是一種保形工藝,沉積發生在所有暴露于前體氣體的表面上。然而,在ALD中,反應是自限性的。


ALD的工作原理如下:首先,將前體氣體A引入處理室,并吸附到所有可用的基板表面上。一旦所有表面位點都被占據,進一步的吸附就不會發生。然后使用惰性吹掃氣體(通常是氮氣或氬氣)沖洗掉任何剩余的前體氣體,然后引入第二前體B。前體B與已經化學吸附的前體A反應,生成所需的薄膜。一旦所有吸附的分子被消耗,反應停止。在進行第二次凈化步驟后,重復這個循環。

圖片



ALD的優點和缺點在于其逐層的性質。一次只沉積一層使制造商能夠非常精確地控制薄膜的厚度。通過以不同比例使用不同的前體氣體,可以調整薄膜的成分。然而,重復的前體/吹掃氣體循環需要很多時間。為了提高吞吐量,可以進行一些流程調整,例如使用大型熔爐一次處理多個晶圓或使用等離子體活化加速成膜。然而,ALD薄膜的最大實用厚度通常受到限制,而隨著晶體管的縮小和復雜結構的需求增加,ALD的機會也在不斷增加。

圖片



ALD在半導體制造中的成功應用之一是氧化鉿(HfO2)。HfO2的前體HfCl4和水是化學上簡單的小分子,其副產物易于揮發和去除。然而,許多其他材料的ALD過程可能更為復雜,例如二氧化硅常使用氨基硅烷前體,而金屬氮化物通常需要復雜的金屬有機前體氣體。選擇性沉積過程中,通過添加配體到前體分子中可以改變其蒸氣壓或反應性,或者促進與基材的粘附,從而提高生長表面和非生長表面之間的選擇性。然而,較大的分子可能難以滲透到較小的特征中,副產物的去除也可能存在困難。

圖片



此外,原子層蝕刻(ALE)可以用于去除不需要的材料。ALE的操作步驟與ALD類似,通過一系列的循環實現。周期的前半部分與現有表面發生反應,削弱與底層進行交互,然后通過惰性吹掃氣體清除副產物。周期的后半部分是一個選擇性的吸附步驟,其中前體分子與已被削弱的表面反應并形成揮發性產物,從而將不需要的材料逐層去除。


原子層沉積(ALD)是一種在半導體制造中使用的重要工藝,它允許精確控制薄膜的厚度和成分。雖然ALD速度相對較慢,但其優點包括高度可控性和選擇性。隨著技術的發展,ALD在半導體制造中的應用越來越廣泛,幫助實現更小、更快、更高性能的芯片。

圖片



圖片


圖片

圖片

圖片

在面向原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)的技術應用中,青島芯笙自研的氣體質量流量控制器(MFC)發揮著至關重要的作用。這款MFC憑借其低溫漂,耐污染和高性價比的優點,成為業界的優選。我們運用MEMS技術,提高了MFC的測量精度、一致性和可靠性。
對比于傳統的毛細管流量計,基于MEMS芯片的MFC能實現更高的信噪比、更小的熱容、更快的熱響應,以及更高的加工精度和可靠性。這對于精確的ALD和ALE過程控制至關重要,因為這兩個過程需要精確、穩定的氣體流量控制。
在半導體行業,無論是在高精度的ALD過程中實現原子級別的薄膜沉積,還是在ALE過程中實現準確的原子級別的蝕刻,青島芯笙的MFC都展現出了其不可比擬的穩定性和精度。此外,我們的產品已經通過嚴格的測試,具有出色的抗電磁干擾能力,可在復雜的電磁環境下正常運作,保證ALD和ALE過程的穩定進行。
對于需要高精度和穩定性的原子層沉積和原子層蝕刻過程,青島芯笙自研的MFC無疑是行業內的選擇。


圖片

END

圖片





會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 治县。| 大兴区| 昭觉县| 固镇县| 佛坪县| 桑日县| 宾阳县| 黄平县| 新沂市| 南和县| 吉木萨尔县| 苏尼特右旗| 新巴尔虎左旗| 克东县| 河间市| 开江县| 苗栗市| 东至县| 乐至县| 平山县| 雷山县| 宁德市| 武陟县| 黑龙江省| 大丰市| 额济纳旗| 青海省| 天峻县| 颍上县| 依兰县| 西贡区| 定襄县| 德清县| 楚雄市| 双桥区| 伊宁市| 监利县| 合阳县| 寻乌县| 鹤壁市| 安康市|