MEMS芯片研制 MEMS技術自晶體管時代的到來，在幾十年的時間里迅速的發展壯大，將在微電子技術基礎上發 展起來的集微型機械、微傳感器、微執行器、信號處理、智能控制于一體。從最初的壓力傳感器到 現在的汽車防撞氣囊等先進的微型設備，已經普遍應用到各個領域，與傳統的一些機械設備相比 ，MEMS具有不可超越的優勢，諸如廣義化特點、微型化特點、多樣化特點、穩定性特點、集成化特 點、批量化特點。利用MEMS技術制造的微型儀器在環境檢測、分析和處理方面大有作為，它們主要 是由化學傳感器、生物傳感器和數據處理系統組成的微型測量和分析設備,其優勢在于體積小、價格 低、功耗小。MEMS技術的發展對信息技術產生了深遠的影響。近年來，MEMS又逐漸向光通訊領域滲 透，形成了由微光學、微電子學、微機械學和材料科學相結合的全新研究領域，即微光電子機械系 統采用體微加工技術制作的各種微泵、微閥、微鑷子、微溝槽和微流量計等器件適合于操作生物細 胞和生物大分子。由于MEMS器件的體積小，能夠進入很小的器官和組織，同時又能進行細微精細的 操作，因此可以大大提高介入治療的精度，降低醫療風險。利用MEMS技術制造的微型儀器在環境檢 測、分析和處理方面大有作為，它們主要是由化學傳感器、生物傳感器和數據處理系統組成的微型 測量和分析設備,其優勢在于體積小、價格低、功耗小和易于攜帶。
1、MEMS氣體傳感器芯片制備工藝研究 用傳統的作用原理和某些新效應，優先使用晶體材料(硅、石英、陶瓷等)，采用先進的加工技 術和微結構設計，研制新型傳感器及傳感器系統，如光波導氣體傳感器、高分子聲表面波和石英諧 振式氣體傳感器的開發與使用，微生物氣體傳感器和仿生氣體傳感器的研究。隨著新材料、新工藝 和新技術的應用，氣體傳感器的性能更趨完善，使傳感器的小型化、微型化和多功能化具有長期穩 定性好、使用方便、價格低廉等優點。
MEMS流量傳感器芯片制備工藝研究
a)硅基多孔硅制備工藝研究；
b)低應力薄膜制備工藝研究；
c)金屬電連接可靠性及穩定性研究；
d)半導體涂層制備及工藝集成方法研究；
2、MEMS氣體流量傳感器的研制 基于科學家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質量流量成正比”理論發展而來。當沒 有氣體流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場，當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場 因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質的質量及流速 。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制 軟件可精確測量實際的介質質量流量。
MEMS流量傳感器芯片結構設計研究
a)材料優化篩選研究；
b)芯片溫度分布和機械強度分析；
c)芯片熱應力分析；
d)芯片高溫界面穩定性研究；
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