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 氣體的種類多種多樣，氣體的用途亦多種多樣，氣體流量的大小以及用量的多少是一個嚴肅的問題。青島芯笙微納電子科技有限公司針對此設計并研發出了MFM-50系列氣體質量流量計，此流量計自帶顯示屏，通過按鍵操作，既可以監測氣體當前瞬時流量，又可以顯示氣體累積流量，此產品在實驗室及工業氣體流量用量計量方面應用尤為廣泛。

圖1：MFM-50氣體計量系統

圖2：MFM-50裝配圖

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Xinnovis MFM-50 系列氣體質量流量計專門用于氣體流量的高精度測量。該系列流量計采用業內先進的流量傳感芯片，結合航空鋁材拋光氣體流道設計以及公司核心的標定和補償算法，實現對各類清潔、干燥氣體的高精度流量檢測。該系列產品典型測量精度為±1.5%，量程比達到500:1，此系列產品的量程從 10SCCM 到 200SLM 內可選（其它量程可咨詢定制），并配有液晶顯示、數字輸出，方便用戶現場和遠程調試。該產品成本低、易安裝、不需要額外溫度和壓力補償，可替代熱式毛細管等傳統流量計使用。