ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型21S系列

產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力

● 可選高精度：優于0.5%

● 量程可控比1%-100%

● 響應時間快，100 ms（可調）

● 內置128種常規及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了128種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

量程可控比    1%-100%

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯  示  屏    帶背光按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)

                 （從校準壓力開始）

控制響應時間（T63）  用戶可調， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms

                  10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms

                  50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms

顯示響應時間    用戶可調， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms

                  10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms

                  50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms

預熱時間    ＜ 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

閥門功能     常閉型

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75℃               

 工作濕度    0  ～ 100 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%讀數            

極限耐壓    1.1 MPa  表壓

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）                             

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差

供電電壓    12 - 30 VDC 

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）

電氣接口    DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業接頭等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標準）

                  可根據特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼

過程連接    詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40 

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

尺寸詳圖

尺寸壓損