伺服閥按照輸出特性有流量控制閥、壓力控制閥、壓力—流量控制閥；按結構形式有滑閥、噴嘴擋板閥和射流管閥等。

1.滑閥

1）滑閥的工作原理和結構特性

     滑閥是常用的結構形式，它常用作工業(yè)伺服閥的前置級和所有伺服閥的功率級。滑閥按照外接油口的多少不同分為二通、三通、四通等；按照控制邊數(shù)的不同分為單邊、雙邊和四邊滑閥，其工作原理如圖7-3所示。其中圖7-3a為二通單邊滑閥，圖7-3b為三通雙邊滑閥，圖7-3c為四通四邊滑閥。閥芯的位移不同于液壓傳動中開關式換向閥，而是雙向連續(xù)變化的。基本功能是連續(xù)改變控制棱邊（節(jié)流口）的流通面積，以改變進入液壓缸（或執(zhí)行件）兩腔的壓力和流量，達到控制液壓缸輸出運動和動力的目的。

     閥的開口形式對其控制性能影響很大，尤其是在零位附近的特性。從圖7-4a可以看出，負開口滑閥在中間平衡位置時，四個節(jié)流口*被遮蓋，*切斷了油源和執(zhí)行件之間的通路。閥芯需要左、右移動的距離后，才能將相應的節(jié)流口打開，才會有油液輸給執(zhí)行件。所以在滑閥的位置－流量特性曲線上形成一段沒有油液輸出的非線性死區(qū)，靈敏度低，對于高精度的伺服閥控制系統(tǒng)是不應該使用這類結構的伺服閥。但這種結構的伺服閥制造容易，成本低，可以在工作過程的任何位置上可靠地停止，所以在手動伺服閥或比例控制系統(tǒng)中還選用這種閥。圖7-4b是零開口閥，其位置－流量特性曲線是線形的，控制性能好，靈敏度高。實際上閥總存在徑向間隙，節(jié)流工作邊有圓角，有一定的泄漏，要求零位泄漏越小越好，但制造工藝復雜，成本高。圖7-4c是正開口閥，結構簡單，但是液體無功損耗比較大。

      滑閥的三個特性系數(shù)在確定系統(tǒng)的穩(wěn)定性、響應特性和穩(wěn)態(tài)誤差時非常重要。流量增益直接影響系統(tǒng)的開環(huán)增益，因而對系統(tǒng)的穩(wěn)定性有直接的影響；流量壓力系數(shù)直接影響閥控液壓馬達、液壓缸系統(tǒng)的阻壓比；壓力增益表明液壓動力機構啟動大慣性和大摩擦負載的能力。

     需要說明的是滑閥的特性系數(shù)是隨工作點的變化而變化的。流量－壓力曲線在原點處的閥系數(shù)稱零點閥系數(shù)，也稱零位工作點，因為閥經(jīng)常在原點附近工作，因此是滑閥重要的工作點。此處閥的流量增益最大，系統(tǒng)的開環(huán)增益最高；壓力－流量系數(shù)最小，系統(tǒng)的阻尼低。如果系統(tǒng)在該點是穩(wěn)定的，在其它點必然是穩(wěn)定的。滑閥的優(yōu)點是壓力增益可以很高，通過的流量可以很大，特性易于計算和控制，抗污染性能較好。缺點是配合公差要求嚴格，制造成本高，作用在閥芯上的力較多、較大且變化，要求較大的控制力。做前置級時，動態(tài)響應較低。

2.噴嘴擋板閥

     噴嘴擋板閥的工作原理如圖7-8所示。噴嘴擋板閥主要由節(jié)流口1、噴嘴2、擋板3組成。具體結構可分為單噴嘴擋板閥和雙噴嘴擋板閥，噴嘴和擋板之間形成一個可變的節(jié)流口，擋板的位置由輸入信號控制，由于擋板的位移較小，擋板的轉(zhuǎn)角也非常小，可以近似地按照平移的方式處理擋板與噴嘴之間的位移。

雙噴嘴擋板閥如圖7-8b所示，它相當于兩個單噴嘴擋板閥的并聯(lián)結構，其工作原理基本與單噴嘴擋板閥相同，但其所控制的負載形式有所不同，常用于對稱結構，如雙出桿液壓缸。雙噴嘴擋板閥由于結構對稱而具有的優(yōu)點是：溫度和供油壓力變化導致的零漂小，即零位點的工作漂移小；擋板所受的液動力小，在零位時的液動力平衡；壓力－流量曲線的對稱性和線性度好，壓力控制敏感度比單噴嘴擋板閥大一倍。

     噴嘴擋板閥的優(yōu)點是結構簡單、公差較大；特性可預測；無死區(qū)、無摩擦副，靈敏度高；擋板慣性很小，所需的控制力小，動態(tài)響應高。其缺點是抗污染性能差，要求很高的過濾精度；零位泄露量大，功率損耗大，效率低，通常作伺服閥的前置放大級。

3.射流管閥

      射流管閥工作原理如圖7-9所示，它由射流管接收器組成。射流管閥不是采用節(jié)流的方式，而是靠能量分配和轉(zhuǎn)換實現(xiàn)控制的，能量的分配是靠改變射流管與接收器的相對位置實現(xiàn)的。射流管一般做成收縮形或拉瓦爾管形，當流體流經(jīng)射流管時，將壓力轉(zhuǎn)換成動能射入接收器，接收器是一個擴張管，液流流經(jīng)后減速擴壓，使進入的流體恢復其壓力能。當射流管位于接收器的兩個接收通道之間時，兩個接收通道內(nèi)壓力相等，液壓缸兩腔壓力相等，活塞保持位置不變；假如當射流管向左偏移時，左側(cè)接收孔道內(nèi)的壓力大于右側(cè)接收孔道內(nèi)的壓力，使液壓缸左移，同時接收器也和液壓缸一起移動，直到射流管又位于兩個接收孔道中間位置為止；反之亦如此。液壓缸的移動方向由控制信號的方向決定，液壓缸移動速度的快慢由控制信號的大小決定。

射流管閥的優(yōu)點是結構簡單，制造成本低廉；噴口較大，流量較大；抗污染能力很好，可靠性很高；無死區(qū)，轉(zhuǎn)動摩擦小，靈敏度高；壓力恢復系數(shù)和流量恢復系數(shù)較大，效率較高。缺點是射流管慣性較大，動態(tài)響應較低；特性不易預測，設計時要靠模型試驗。適用于中、小功率控制系統(tǒng)或伺服閥的前置級。

MOOG伺服閥常用型號：

MOOG伺服閥D061-9310

MOOG伺服閥D673-0001-0000     

MOOG伺服閥D633-7414      

MOOG伺服閥D661－4539C

MOOG伺服閥G631-3002B      

MOOG伺服閥D792-4005      

MOOG伺服閥D792-4007      

MOOG伺服閥D661-4697C G15JOAA5VSX2HA     

MOOG伺服閥D661-6460C/G35HOAA4VSX2

MOOG伺服閥G761-3002B

MOOG伺服閥D663-5002   L03HYAO6NSA0-P       

MOOG伺服閥D661-4506C/G35KOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D662Z4336K P01JXMF6VSX2-A       

MOOG伺服閥D634-319-C-24V

MOOG伺服閥D791-4038 S16JXQB6VSX2-B

MOOG伺服閥D664-4714 L05HDBM6NSF2-0        

MOOG伺服閥D662Z1931E D01HXBAFNSA0         

MOOG伺服閥G761-3602        

MOOG伺服閥D661-4636       G60KOAA5VSX2HA

MOOG伺服閥D633-313B-R16KO1M0NSM2

MOOG伺服閥D661-4594C G75KXAA5VSX2H

MOOG伺服閥D792-4036      

MOOG伺服閥D661-4586E              G45KOCB5VSX2HA

MOOG伺服閥D791-5040 S16JOQA4USBOP 

MOOG伺服閥D663-344K   P03HYMOFNSA0         

MOOG伺服閥D633K2025B Type:R16KO1M0NWM2

MOOG伺服閥D661-4650 G60KXAA5NSM2HA      

MOOG伺服閥D661-4598C    G45H0AA6VSX2HA

MOOG伺服閥D661-4651 G35JOAA6VSX2HA        

MOOG伺服閥D663-1922E-4 L03HABAEVSB0       

MOOG伺服閥D662-4036 D02HXBO6NSF2-A