詳細介紹
日本fuji蝶閥MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列
全封閉和電導率控制閥,使用高性能和高度通用的伺服電機系統(tǒng)。
可以執(zhí)行各種操作模式,例如*關閉和*打開的閥盤,定位到任何位置以及可變的打開和關閉速度。
特征
一臺設備可以*關閉(*關閉)并調節(jié)電導。
它可以從壓差狀態(tài)(真空-大氣壓)打開。
由于采用了直接連接到電動機和高精度齒輪頭的驅動機構,因此位置精度的再現(xiàn)性非常好。
取決于控制方法,諸如開度調節(jié)和速度調節(jié)的各種操作模式是可能的。(注1)
它適用于大流量排氣,并具有出色的耐用性。是FPD / OLED相關設備(涂布機系統(tǒng),層壓設備等)的理想選擇。
閥體的位置可以通過角度顯示指示器從外部確認。
通過添加可選的雙重自動壓力控制系統(tǒng)控制器進行控制,它也可以用作自動壓力控制閥。
日本fuji蝶閥MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列
MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格
類型 | M B V-A D II-M 4(三菱電機/ MR-J 4系列) M B V-AD II-M 4 Br(電機規(guī)格:帶制動器) |
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口徑 | 50 A,65 A,80 A,100 A,150 A,200 A,250 A |
泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
使用面積 | 10 5?10 -6帕 |
盤封* 1 | EPDM O型圈 |
軸封* 2 | EPDM O型圈 |
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氣體接觸材料 | 蘇S 304 |
指標 | 帶有角度的外部顯示指示器 |
包含伺服放大器 | MR-J4-A-RJ(對應于定位模式) |
選項 | 開/關檢測光電傳感器 |
* 1 * 2 E PDM是標準配置,但可以根據(jù)應用選擇其他材料。
Viton,F(xiàn)F KM = Perflo等*為了保持該閥的性能,必須定期更換閥體O形圈并定期給閥密封件涂脂。
系統(tǒng)配置
[附帶的伺服放大器尺寸圖] MR-J 4-20A-RJ(附帶50A-150A)
關于非標準電機支持
MBV-JISADⅡ-M4系列尺寸圖
MBV-ISO AD II -M4系列尺寸圖
MBV-NW AD II -M4系列尺寸圖
MBV-JISADⅡ-M4系列尺寸圖
MBV-ISO AD II -M4系列尺寸圖
MBV-NW AD II -M4系列尺寸圖