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詳細介紹
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC
特征
- 使用磁控管陰極以減少離子損傷
- 排氣→涂層→全自動，直到進入大氣
- 磁控管陰極有助于生產高質量的濺射薄膜
- 電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆
應用/結果示例
- 各種設備的電極膜附件
- 用于制造反射薄膜等的應用
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC
基本規格
| 陰極 | φ2英寸直流磁控管/ 2極面對電極 |
| 目標 | 包含金靶 |
| 膜厚設定方法 | 預設方法/帶膜厚監視器的數字顯示 |
| 氣體導入機制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：20l / min（帶自動泄漏） |
| 排氣操作 | 自動的 |
| 箱體尺寸 | 內徑φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15公斤 RP：9公斤 |
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