詳細介紹
日本精密陶瓷高純度氧化鋁球Al2O3復合材料
氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中chang用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。
電絕緣性
耐磨耗性
耐熱性
耐腐蝕性
耐等離子性
主要用途
半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤)
粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機)
一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承)
高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具)
耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌)
電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)
特點
氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優異的電絕緣性能,早期開始即應用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本低的材質。
我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異,可生產大型產品。
此外,由于其具有優異的耐等離子特性,也可用于CVD設備或蝕刻設備的部件。
日本精密陶瓷高純度氧化鋁球Al2O3復合材料
氧化鋁
型號 | 特點 | 密度 | 楊氏彈性模量 | 彎曲強度 | 斷裂韌性 | 熱膨脹系數 | 熱傳導率 | 體積電阻 |
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[g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa?m1/2] | [×10-6/K] | [W/m?K] | [Ω?cm] | ||
ALP01 氧化鋁99.5% | 用途廣泛 高剛性 | 3.9 | 370 | 440 | 3~4 | 6.3 | 33 | >1014 |
ALP02 氧化鋁99.9% | 高純度 高剛性 | 3.9 | 370 | 450 | 3~4 | 6.3 | 30 | >1014 |
熱膨脹系數為RT~200℃時的測量數據。