化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹
閱讀：83 發(fā)布時間：2024-11-12用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹
CCMT-D系列是電容式壓力計，其陶瓷膜片因氣壓變化而變形，并通過電容的變化來檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結(jié)構(gòu)，因此具有優(yōu)異的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性，無論何種氣體（絕對壓力表），都可以精確測量低真空和中真空區(qū)域的壓力。
目的
用于薄膜沉積設(shè)備過程中的壓力監(jiān)測
用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)測。
用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測
特征
長期穩(wěn)定
由于使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
內(nèi)置溫度補償電路型
新采用的結(jié)構(gòu)可保護傳感器免受污垢影響
可通過按鈕進行零點調(diào)整
規(guī)格
| 模型 | CCMT-D | ||
| 測量 滿量程 | CCMT-1000D | 133kPa 滿量程 | |
| CCMT-100D | 13.3kPa滿量程 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa滿量程 | ||
| CCMT-1D | 133Pa 滿量程 | ||
| 解決 | 整個案例為 0.003% | ||
| 準確度*1 | ±0.2%示值 ±溫度系數(shù) | ||
| 溫度系數(shù) | 零電壓 | 0.005%FS/℃ | |
| 量程電壓 | 0.01% R/℃ | ||
| 工作溫度范圍 | 10~50℃ | ||
| 響應(yīng)速度 | 30毫秒或更短 | ||
| 氣體接觸材料 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
| 輸入功率 | DC14~30V，1W | ||
| 輸出 | 直流0~10VF.S | ||
| 大量的 | 329g（直徑12.7/標準型） | ||
| 外形尺寸 | 直徑55mm x 117mm（直徑12.7mm，標準型） | ||
| 配件 | 標準：直徑12.7管材 選項：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 溫度補償 | 內(nèi)置溫度補償電路 | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針公頭 | ||
| *1：打開電源2小時后，工作環(huán)境溫度為25℃。 |
| *2：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe |
| *3：28%鎳、23%鈷、49%鐵 |