型 號 | 過渡室 真空度 | 箱體 真空度 | 過度室尺 單位:mm | 箱體尺寸 單位:mm | 保壓 時間 | 使用氣體純度(99.95%以上) | 手套口 直徑 |
KTZ-1 | -0.1Mpa | -0.1Mpa | φ220×250 | 600×450×500 | 20小時 以上 | 氬 氣 氦 氣 氮 氣 | φ160m |
KTZ-2 | -0.1Mpa | -0.1Mpa | φ280×350 | 800×600×700 | |||
KTZ-3 | -0.1Mpa | -0.1Mpa | φ340×400 | 1200×700×1100 |
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