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產(chǎn)品型號
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廠商性質生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
更新時間:2020-11-10 06:56:07瀏覽次數(shù):407次
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T81-50探針臺專注于物理、化學和材料等領域的科學儀器研發(fā)、制造、銷售、服務為一體的綜合型高科技企業(yè)。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實驗環(huán)境。
自2011年成立至今,已研發(fā)出各種類型的電磁鐵、液氮型低溫恒溫器、液氦型超低溫恒溫器、制冷機系統(tǒng)集成、高溫真空磁場退火爐系統(tǒng)、Helmholtz線圈全套解決方案、高穩(wěn)定性雙極性電源、霍爾測量系統(tǒng)、電輸運測量系統(tǒng)、磁光克爾測試系統(tǒng)、高低溫磁場真空探針臺測試系統(tǒng)等,并可根據(jù)用戶需求,定制出各種類型的實驗產(chǎn)品。
這些產(chǎn)品可以用于很多領域,包括半導體,微機電系統(tǒng),超導體,電子學,鐵電體,材料學,物理學和光學等。低溫探針可用于桌面或獨立系統(tǒng),包括一個使用液氦或液氮(溫度范圍從低于4K到475K,可選600K)的超高效率連續(xù)流系統(tǒng),且提供不對樣品造成任何振動的快速冷卻法。探測設備使用典型的單系統(tǒng)四探針法(也支持雙探針,六探針或八探針)測量直流脈沖,低頻率信號或微波信號或同時使用兩種信號。我們制造的每套系統(tǒng)都采用標準的品質工藝。所生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)成為您所有的對于標準和定制低溫系統(tǒng)的需求的選擇。
T81-50探針臺選型注意事項
※大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片,小的單顆芯片尺寸?
※探針臺機械精度要求多高?
※點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內部的metal線路?
※多需要幾個探針同時去點測?
※是否會用到探針卡測試?
※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少?
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?
※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下?低
電容要求是否要做到0.1pf?是否有射頻需求?
※接駁的測試儀器接口有哪些?
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?
※對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣?
T81-50探針臺產(chǎn)品概述:
可進行真空環(huán)境下的高低溫測試(4.2K~500K),可升級加載磁場,低溫防輻射屏設計,樣品臺采用高純度無氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置,支持光纖光譜特性測試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動,器件的高頻特性(支持67GHz頻率),探針熱沉設計,LD/LED/PD的光強/波長測試,自動流量控制,材料/器件的IV/CV特性測試等。
T81-50探針臺應用范圍:
高低溫真空環(huán)境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等。
T81-50探針臺可選附件:
þ 防震桌
þ 多級壓縮制冷機
þ 機械泵/分子泵組/離子泵
þ 射頻部件
þ 各類型頻率真空接頭
þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
þ 各類探針夾具
þ Chuck運動裝置
þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
þ 1Mpa正壓系統(tǒng)
þ 超高溫升級選件
þ 超高真空升級選件
T81-50探針臺技術指標:
型號 | T81-50探針臺 | T80-50探針臺 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 閉循環(huán)制冷機 |
腔體材質 | 無磁不銹鋼或者鋁合金 | |
真空度 | 真空10-8Pa | |
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch(可選) | |
控溫范圍 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關 | |
溫度穩(wěn)定性 | 0.1K控溫儀相關 | |
降溫時間 | 40min | 150min內,視制冷機功率定 |
溫度傳感器 | 硅二極管、PT100(3個,樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個) | |
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |
樣品臺材質 | 鍍金無氧銅 | |
樣品臺尺寸 | 直徑20-50mm,可選100mm | |
樣品臺平整度 | ≤7μm | |
樣品臺固定方式 | 固定的樣品臺(可升級隨位移臺移動) | |
樣品臺振動級別 | ≤50納米 | ≤1μm(三級減震) |
探針臂數(shù)量 | 2個、4個、6個、8個可選 | |
探針臂機械精度 | ±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm(可選) | |
探針種類 | 鎢、鈹銅、微波探針(可選高達67GHz的GSG探針) | |
探針調節(jié) | 真空波紋管外部調節(jié),手動控制 | |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm | |
電力需求 | 220V 50-60Hz |
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