HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統
海德漢 – 高精位置測量和控制技術
約翰內斯•海德漢博士公司研發和生產高質量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉編碼器、數顯裝置和數控系統。 海德漢公司產品主要用于精密機床和電子元件的生產和加工設備。
我們擁有研發和生產測量設備和數控系統的豐富經驗和專業知識,我們為未來大型設備和生產型機床的自動化打造發展基礎。
典型應用包括:
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅電機
HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺技術參數:
技術指標 | LIP 382 |
測量標準 | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵;光柵周期0.512微米 |
線性膨脹系數 | α THERM =(0±0.1)×10 -6 ? -1 |
精度等級 | ±0.5 µm(可根據要求提供更高的精度等級) |
基線錯誤 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
測量長度ML * ,單位mm | 70 120 150 170 220 270 |
參考標記 | 沒有 |
接口 | 1 V PP |
綜合插補 | – |
信號周期 | 0.128微米 |
截止頻率–3 dB | ≥1兆赫 |
掃描頻率* | – |
邊緣分離a | |
移動速度 | ≤ 7.6米/分鐘 |
插補誤差 | ±0.01納米 |
位置噪聲RMS | 0.06 nm(1 MHz 1)) |
激光 | 掃描頭和天平安裝: 1級 |
未安裝掃描頭: 3B級 | |
使用的激光二極管: 3B級 | |
電氣連接 | 0.5 m電纜至接口電子設備(APE), |
可連接至APE的單獨適配器電纜(1 m / 3 m / 6 m / 9 m) | |
電纜長度 | 參見接口說明,但≤30 m(使用海德漢電纜) |
電源 | 直流5 V±0.25 V |
目前的消費 | <190毫安 |
振動55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2(EN 60068-2-6) |
震動11毫秒 | ≤50 m / s 2(EN 60068-2-27) |
工作溫度 | 0°C至40°C |
質譜 掃描頭 | 150克 |
接口電子 | 100克 |
線性刻度 | ML70毫米: 260克,ML ≥ 150毫米: 700克 |
連接線 | 38克/平方米 |
* 訂購時請選擇 | |
1) 后續電子設備的–3 dB截止頻率 | |
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