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詳細介紹
Lamtech激光平面度測量儀
LAMTECH平面度快速測量機，采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天，汽車工業噴油嘴行業，泵、閥門密封件表面，以及光學工程，激光工程等領域。
TOPOS 100 是一款非接觸式平坦度測量儀器，用于精密制造表面，具有亞微米精度。 TOPOS 平坦度測量儀器滿足 客觀工作測量工具的要求，用于精密部件（例如燃油噴射 系統、泵或閥門）的生產和質量控制。
Lamtech激光平面度測量儀允許對研磨、 精加工和拋光精密部件進行非接觸式平坦度測量。 TOPOS 干涉儀根據光的放牧率原理運行。 也可以測量較粗糙的部件的平坦度，光學平面或菲佐干涉儀沒有更多的條紋圖案。 計算機根據干擾模式計算測試對象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁邊也可以測量拋光部件。 部件可以由多種材料組成： -金屬（鋼，鋁，青銅，銅等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉儀可放置在生產線上，靠近加工機。 在整個測量區域內，精度高達 0.1µm。
平面度檢測儀技術參數：
型 號 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測量范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考平面平面度 | 優于0.06μm | ||
參考面材料 | 石英玻璃 | ||
靈敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動范圍 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重復性 | 優于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優于0.01μm | ||
數據采集量 | 300,000點 | ||
測量時間 | 小于2s | ||
整體尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
應用示例：
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