微流量氣體流量計
1、測量范圍：0.5—100Nm/s （20℃，101.33KPa）
2、準確度: ±1.5%的讀數 ±1.5%滿量程
3、量程比：通常100：1（取決于標定流量的范圍）
4、管徑范圍: 15mm～6000mm
5、應用范圍: 適合各類單一或混合氣體。含塵、含沙、含濕氣、各種腐蝕性氣體。（乙炔氣體除微流量氣體流量計
16、通訊：串口輸出RS232/RS485
17、供電電源：24VDC/600mA；220VAC/2W；110VAC/3W
18、報警：1－2路繼電器輸出、5A/220V、5A/30VDC、鍵入設定
 熱式流量計按結構可以分為熱分布型和浸入型。熱分布型熱式流量計將傳感元件放置于管道壁，傳感元件經過加熱溫度高于流體溫度，流體流經傳感元件表面導致上下游溫度發生變化，利用上下游溫度差測量流體流量，一般用于微小流速氣體流量的測量。熱分布型熱式流量計的工作原理如圖1所示，傳感元件由上游熱電阻、加熱器和下游熱電阻組成，加熱器位于管道中心，使得傳感元件溫度高于環境溫度，上游熱電阻和下游熱電阻對稱分布于加熱器的兩側。圖1中曲線1所示為管道中沒有流體流過時傳感元件的溫度分布線，相對于加熱器的上下游熱電阻溫度是對稱的。當有流體經過熱式傳感元件時，溫度分布為曲線2，顯然流體將上游部分的熱量帶給下游，導致上游溫度比下游溫度低，上下游熱電阻的溫度差ΔT反映了流體的流量，即ΔT=f（m）。當流體流速過大時，上下游熱電阻的溫度差ΔT趨向于0，因此熱分布型熱式流量計用于測量低流速氣體微小流量。氣體質量流量qm可表示為