詳細(xì)介紹
ST-21H型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn),專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
ST-21H型方塊電阻測試儀測量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1.方塊電阻 1.00~1999.9Ω/□;
2.方塊電阻 10.0~19999Ω/□;
小分辨率:0.1Ω/□
橫流源:測量過程誤差:≤±0.8%
模擬轉(zhuǎn)換器:量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點同步顯示;
測量不確定度:在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格:間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
電源9V疊層電池1節(jié)