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超微量氣體流量計的發(fā)展與應(yīng)用
一、氣體計量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中占有重要地位，一方面，新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破，尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，使微量氣體計量由機(jī)械式向智能化、模塊化方向發(fā)展，其應(yīng)用范圍得到了極大的擴(kuò)展；另一方面，隨著環(huán)境監(jiān)測、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計量準(zhǔn)確度要求的不斷提高，對氣體計量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來越受到重視。
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
1、超微量氣體流量計適用于檢測微小氣體流量，在精密半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領(lǐng)域
2、用于超微流量氣體計量，測量精度可達(dá)ppm級別，可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用于氫能、太陽能、沼氣技術(shù)、環(huán)境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領(lǐng)域。
三、特點：
1、RTK超微量氣體流量計采用自主發(fā)明技術(shù)GasMeteringCell(GMC)，結(jié)合自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件，簡便、精確、直接測量氣體體積或質(zhì)量，測量精度可達(dá)ppm級別。
2、可根據(jù)需要拓展為多通道，輕松實現(xiàn)平行實驗，提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對比性。
四、原理：
測量范圍：最小流量為1毫升/天(ml/d)，最大流量為50升/天(L/d)。
測量精確度：<1%。
測量分辨率：<1mL。
通道數(shù)：4通道、8通道、16通道。
數(shù)據(jù)顯示：PC端界面數(shù)據(jù)、圖形結(jié)合顯示。
適用范圍：可用于各種常規(guī)氣體及輕微腐蝕氣體的測量。