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半導體材料中的載流子濃度直接決定著半導體的導電能力,因此要制造出符合要求的半導體器件,必須定量地研究載流子濃度的影響因素。
半導體中有空穴和電子兩種載流子,半導體中的電流是這兩種載流子定向移動形成的電流之和。
空穴濃度和電子濃度分別用 和 表示,單位為 或 ,實際常用 作單位。
一、有關電子與能級的基本概念
1.1 能級與能帶
能級:由量子物理,束縛態電子的能量是量子化的(一系列離散值),每一個能量值對應于一個能級(Energy Level)。
【注:從數學上講,束縛態電子能量量子化的根本原因在于在勢阱中的薛定諤方程(它給出了描述電子出現概率的波函數 與位置 ,時間 所滿足的微分關系)的正弦解具有周期性,從而電子的能量由正整數決定而取一系列離散值。】
能帶:當N個原子(阿伏加德羅常數數量級)集聚成晶體時,由于之間能量的相互影響,原本孤立的原子的能級會分裂為N個能級,這些間距很小的能級所形成的能量近似連續的區域稱為能帶(Energy Band)。如鈉晶體的3s能帶,3p能帶等。
禁帶,允帶:允許電子出現的能帶稱為允帶(Allowed/Permissible Band)。相應地,不存在可能的量子態(即電子不可能出現)的能量區域稱為禁帶(Forbidden Band)。
在允帶中,比較特殊的兩個是價帶和導帶。
價帶,導帶:0K時,晶體中最上面有電子存在的能帶稱為價帶(Valence Band)。價帶上面相鄰的空白能帶稱為導帶(Conduction Band)。
費米能級:0K時,能量高于 的能級沒有電子分布,而能量低于 的能級上每個量子態都有一個電子,這一能級 稱為費米能級。(顯然費米能級的位置與電子是否可能出現在該位置無關,即費米能級既可能在允帶中,也可能在禁帶中)
PS:按量子理論,電子在0K時是有能量的。因此把費米能級套在經典理論上會出現佯謬。例如:0K時,如果令 ,則在費米能級的電子具有量級為 的速度(費米速度),而按經典理論電子是靜止的;又如,如果令 ( 為玻爾茲曼常量),則金屬有高達 的溫度(費米溫度),而實際溫度是0K!
禁帶寬度:導帶底與價帶頂之間的能量差稱為禁帶寬度 。
1.2 從能帶角度看導體、絕緣體、半導體
導體:價帶中有電子且未被電子填滿的晶體是導體。當外加電場時,價帶電子被加速形成電流。
絕緣體:0K時,價帶被電子填滿,導帶空白,且禁帶較寬的晶體是絕緣體。一般地,升高溫度或外加電壓都難以使價帶電子獲得足夠的能量躍入導帶,因此絕緣體導電能力差。
半導體:0K時,價帶被電子填滿,導帶空白,且禁帶較窄的晶體是半導體。半導體在常溫(例如300K)時就有一定量電子在導帶中,溫度升高時,更多電子受激躍入導帶,導電能力明顯增強。
二、半導體載流子濃度與載流子能量的關系
[注:本節討論均在半導體無外加電壓(即熱平衡)狀態下進行]
載流子數量計算基本原理:載流子濃度=載流子總數的可能最大值 載流子出現概率
i.e. 載流子濃度=量子態密度 費米-狄拉克分布函數
2.1 量子態密度
單位體積,單位能量中載流子總數的最大值(即可能的量子態總數)稱為量子態密度。導帶量子態密度用 表示,價帶量子態密度用 表示。
量子態密度與載流子動能的平方根成正比。公式是:
在 中,導帶電子量子態密度
價帶空穴量子態密度
解釋:① 為空穴或電子的有效質量(考慮晶格對載流子束縛作用的等效質量)。普朗克常數
②設導帶中電子的能量為 ,將導帶底的能量 視作電子的勢能,那么 即為電子的動能。同理,價帶頂能量 與空穴能量的差值 即為價帶中空穴的動能。
2.2 費米-狄拉克分布
在一定溫度 下,能量為 的電子出現在某一量子態的概率為
相應地,能量為 的空穴出現在某一量子態(即某一量子態為空)的概率為 。
解釋:① 為該溫度下的費米能級。根據此式,費米能級也可以定義為:在一定溫度下,若能量為 的量子態被載流子占據的概率為1/2,則 為該溫度下的費米能級。
②玻爾茲曼常量 。用關系 可以容易地驗證這一數值。
有了量子態密度和費米-狄拉克分布的表達式,就可以通過對能量在整個能帶中積分,得出單位體積內電子的數目為 ,
空穴濃度為 。
(注:對于電子,當能量增大時,由于費米-狄拉克函數迅速趨于零,因此可將積分上限設定為+∞而不必使用導帶頂能量。空穴同理反之。)
三、半導體載流子濃度與半導體自身參數的關系
3.1 載流子濃度與能帶能量值Ec,Ev的關系
在第二節,我們得到了在無外加電壓(熱平衡)條件下,半導體載流子濃度與載流子能量之間的關系式。雖然載流子的能量是一個很難確定的值,但可以看到,我們對能量進行積分后,所得到的載流子濃度表達式就僅包含半導體自身參數(如價帶頂能量 ,導帶底能量 等等)和溫度了。因此,這一節我們首先要將載流子濃度的表達式計算出來。
在費米-狄拉克分布函數的玻爾茲曼近似( )條件下,可以積分計算出半導體的導帶電子熱平衡濃度為
說明:① 的下標0表示無外電壓的熱平衡態。
② 是與半導體材料和溫度有關的常數,稱為導帶有效狀態密度。 。
同理,半導體的價帶空穴熱平衡濃度為
3.2 載流子濃度與本征半導體參數的關系
上一節,我們雖然得出了載流子濃度不依賴于粒子能量的表達式,但依然依賴于導帶底、價帶頂的能量值Ec和Ev。本節將用更具有普遍意義的費米能級和本征半導體的參數代替Ec和Ev。
本征半導體:純凈的具有晶體結構的半導體。
本征半導體有兩個重要參數:本征載流子濃度,本征費米能級。
(1)本征載流子濃度即為本征半導體中的載流子濃度。由于本征半導體中所有價電子都形成了共價鍵,自由電子數=空穴數,故通常用電子數 來表示本征載流子濃度。是半導體材料(即使是已經摻雜了的半導體)的一個重要參數。
將 和 的表達式相乘,并考慮關系 ,可以得到
由上式可知:
①本征載流子濃度與材料,溫度和禁帶寬度有關,而與導帶、價帶、費米能級無關。
②熱平衡狀態下,電子濃度 和空穴濃度 的乘積為定值。
(2)本征半導體的費米能級稱為本征費米能級。我們可以根據本征半導體 ,得出本征費米能級在能帶中的具體位置。計算結果為
可見,本征費米能級大約位于禁帶中央。
我們把這個關系式“拆開",得出半導體(無論本征與否)電子、空穴濃度與本征載流子濃度,本征費米能級的具體關系是
(注:這兩個公式的指數部分很好記,只需把上一節公式中的Ec,Ev對應地換成 即可)
3.3 載流子濃度與摻雜濃度的關系
設本征半導體中摻雜了濃度為 的提供電子的施主(Donor)雜質(如磷),又摻雜了濃度為 的接受電子的受主(Acceptor)雜質(如硼)。設摻雜后電子、空穴濃度分別為 ,,由于本征半導體中電子濃度=空穴濃度,故有 ,又,聯立求解并舍去負根得
這一結果表明,在高摻雜狀態(本征濃度相對摻雜濃度可以忽略)下,直接 是一個很好的近似。
四、半導體中的電流——載流子的輸運
前三節,我們建立了半導體載流子濃度的表達式。本節將開始研究載流子的運動,也就是載流子輸運現象。載流子的輸運分為兩種基本形式:擴散運動,漂移運動。擴散運動由濃度梯度引起,漂移運動由電場引起。
4.1 漂移運動(Drift)
歐姆定律的微分形式給出漂移電流密度為
——遷移率
上式是空穴和電子的電流密度之和。由于電子的(-e)和電場力作用方向(-E)抵消,因此兩個電流用加號連接。
上式同時給出了電導率 (有些書上記為 )的具體表達式。
4.2 擴散運動(Diffusion)
由于擴散電流是從高濃度往低濃度擴散,亦即同載流子濃度減小率成正比,因此擴散電流密度為
——擴散系數
總電流密度為
4.3 遷移率和擴散系數的關系——愛因斯坦關系
愛因斯坦關系:在溫度一定時,遷移率與擴散系數的比值為常數。
五、半導體中的過剩載流子
當出現溫升、光照等外施激勵時,半導體中就會產生非平衡過剩載流子。本節簡要敘述非平衡載流子的濃度變化。過剩載流子濃度記作 , ,這兩者近似相等(電中性條件)。
5.1 雙極輸運方程
由于電子和空穴之間存在吸引力(內建電場),因此它們將會以“電子-空穴對"的形式一起運動,這就是雙極輸運。
雙極輸運:空穴和電子以相同的遷移率(或擴散系數)一起漂移(或擴散)的現象稱為雙極輸運。
雙極輸運方程:
①雙極擴散系數 ,雙極遷移系數
②E:電場強度,包括外電場和內建電場(外電場是主要的)
③g,R:生成率,復合率。g可視為常數,
由系數D'和μ'可知,這是一個變系數二階偏微分方程。
5.2 摻雜條件和小注入條件
p型半導體的摻雜條件:
小注入條件:
由這兩個條件,可將雙極輸運方程轉化為常系數微分方程。
5.3 電荷弛豫
t=0向電中性半導體注入一些正電荷(或負電荷),恢復電中性的過程。
這個問題在《工程電磁場》中已經出現過,方法是聯立電荷守恒方程 (J的四維散度等于0),歐姆定律 和庫侖定律 ,解得電荷密度的擴散方程為 。
5.4 準費米能級
過剩載流子產生后,電子/空穴對應的費米能級,求解過程和前面類似。
,
右端代數式的記憶方法:先記n的。①永遠是e的負指數②系數的下標和e指數上第一項的下標對應(n_i對應E_Fi)。p的就把指數項的兩個能級顛倒。