技術文章
自動測量顯微鏡(HO-AMS-DE01)
閱讀:21 發布時間:2024-11-19HO-AMS-DE01 測量系統配備了雙成像系統,用于快速測量。成像系統 1 配備了用于大面積成像的低倍率鏡頭,成像系統 2 則配備了用于高倍率成像的長工作距離顯微鏡物鏡。成像系統 1 只需 4 幅圖像即可捕捉到 200mm*100mm 的樣品區域。高精度 XY 電動平臺配有線性編碼器,并將使用 DRO 顯示編碼器的反饋信息。帶自動對焦算法的電動 Z 聚焦平臺用于樣品聚焦。除了雙攝像頭系統外,還配備了雙目觀察裝置,用于對樣品進行目視檢查。
規格
測量精度 (3 + 0.03L) µm。L 是測量長度,單位毫米
讀數分辨率 1 µm(帶 DRO 的線性編碼器)
觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭,30 度傾斜,45-75 IP
觀察方法 明視野(雙成像系統)
目鏡 10 倍寬視野,FN 20,屈光度可調
照明 1. 垂直反射 LED 照明(外顯微鏡),強度可調 2.
2. 傾斜 LED 照明,強度可調
選配
1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡
NA: 0 .30
工作距離:34 毫米
目鏡視場角:2 毫米
相機視場角:0 .655 毫米 x 0.492 毫米
2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .35
工作距離:29 毫米
目鏡視場角:1 毫米
照相機視場角:0 .327 毫米 x 0.214 毫米
3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .50
工作距離:17 毫米
目鏡視場角:0 .4 毫米
照相機視場角:0 .131 毫米 x 0.0984 毫米
成像系統 1
成像鏡頭: 16 毫米素鏡頭
工作距離:160 毫米
有效放大倍率:0 .082 X
攝像頭視場角:80 毫米 * 60 毫米
攝像頭: ? " CMOS 彩色 300 萬像素
成像系統 2
成像鏡頭: LWD Plan Apo 5 倍顯微鏡物鏡
工作距離:44 毫米
有效放大倍率 (@5X 物鏡) : 目鏡 50 倍,相機 5 倍
目鏡視場角 : 4 毫米
攝像頭視場角:1 .31 毫米 * 0.984 毫米
攝像頭: ? " CMOS 彩色 300 萬像素
樣品臺
電動 XY 高精度平臺
測量范圍:200 毫米 x 100 毫米
編碼器分辨率:1 微米
顯示:DRO
聚焦 帶自動對焦功能的電動 Z 平臺
軟件 : 圖像分析儀 - 自動掃描、拼接、定位、測量等。
應用
1. 半導體
2. 電氣和電子部件
3. 精密汽車零部件
4. 塑料模具
5. 工具
6. 醫療器械