冷水機(jī)在真空系統(tǒng)及真空鍍膜機(jī)上的應(yīng)用
一:冷水機(jī)在真空鍍膜工藝中有什么作用?
真空鍍膜工作原理是:膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜體分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光,所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,果如真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射,結(jié)合差工效低光澤差。現(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜,解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍鋯等等。
中頻設(shè)備必須加冷卻水,原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應(yīng),電荷會(huì)聚集在電導(dǎo)有表面積,這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。 磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫會(huì)使射槍變形,所以它有一個(gè)水套來(lái)冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜 - 基結(jié)合力好
二:冷水機(jī)成部分和部件
真空鍍膜膜設(shè)備配備冷水機(jī)是為了達(dá)到高效率、高精度控制溫度的目的以保證鍍件的高質(zhì)量,增加鍍件的密度和平滑,縮短電鍍周期,提高生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品的質(zhì)量。
真空鍍膜設(shè)備專用的冷水機(jī)主要組成有:壓縮機(jī),貯液器,干燥過(guò)濾器,熱力膨脹閥,蒸發(fā)器,制冷劑,冷凝器。
壓縮機(jī)是心臟,冷水機(jī)制冷系統(tǒng)通過(guò)壓縮機(jī)輸入電能,將熱量沖低溫環(huán)境排放到高溫環(huán)境,制冷壓縮機(jī)決定整個(gè)系統(tǒng)的效率。
貯液器安裝在冷凝器后面,于冷凝器的排液管直接連通,貯液器起到調(diào)劑和貯存制冷劑的作用。
冷凝器可分為三類(lèi):風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器和水冷式冷凝器,冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。
干燥過(guò)濾器預(yù)防制冷輪回中水分和污染物等的進(jìn)入導(dǎo)致影響制冷裝置的正常使用。
熱力膨脹閥安裝在干燥過(guò)濾器和蒸發(fā)器之間,主要作用使使高溫的制冷劑液體節(jié)流降壓變?yōu)榈蜏氐盅簼裾羝M(jìn)入蒸發(fā)器從而達(dá)到制冷降溫的作用。
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