PIEZOSYSTEM X軸位移臺-測量
運(yùn)動范圍達(dá) 700 微米
高精度、快速響應(yīng),適用于大質(zhì)量樣品
可適用于動態(tài)應(yīng)用
X軸位移臺通常用于精密定位和運(yùn)動控制應(yīng)用,具有以下特點(diǎn):
高達(dá)900毫米的運(yùn)動范圍:X軸位移臺能夠在X軸方向上實(shí)現(xiàn)長達(dá)900毫米的運(yùn)動范圍,適用于需要大范圍移動的應(yīng)用景。
亞納米分辨率:位移臺具有分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的精確定位,適用于對位置精度要求很高的實(shí)驗(yàn)和工
程任務(wù)。
出色的軌跡精確度:X軸位移臺能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)平滑的運(yùn)動軌跡,保證運(yùn)動過程中的穩(wěn)定性和精確性,適用于需要高
精度運(yùn)動控制的場合。
PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)。致動器在Z方向上提供250 μm的運(yùn)動行程。可以實(shí)現(xiàn)納米級的精度。可以長期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度,PZ 250蓋WL可以承載高達(dá)3公斤的負(fù)荷。
在PIEZOSYSTEM品牌中
1、同一系列的不同型號之間,主要差別在于行程,以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等,例如:
型號:PZ 250 CAP WL |
編號:S-627-51 D |
軸:Z |
行程 (±10%):350μm |
分辨率。:3nm |
尺寸(長x寬x高):400 x 380 x 20mm |
PIEZOSYSTEM X軸位移臺-測量