中瑞祥KDY-1B便攜式電阻測(cè)試儀便攜式電阻率儀測(cè)試儀結(jié)構(gòu)及原理
便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。
它主要由電器測(cè)量部份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測(cè)試架。
為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分選材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1~100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量誤差不超過(guò)±5%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)機(jī)的水平。
2、測(cè)試儀結(jié)構(gòu)及原理
測(cè)試主機(jī)由主機(jī)板、前面板、后背板及機(jī)箱組成,數(shù)字表、測(cè)試電流換檔開(kāi)關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)、校準(zhǔn)/測(cè)量變換開(kāi)關(guān)以及電流調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開(kāi)關(guān)、保險(xiǎn)管及四探針連接插座。機(jī)箱底板上字裝了主機(jī)板。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件,便于拆卸維修。
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍:
可測(cè)量電阻率:0.1~1999Ω·cm。
可測(cè)方塊電阻: 1~19990Ω/□
當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥1999Ω·cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.01mA~1mA分兩檔
0.1mA量程:0.01~1mA 連續(xù)可調(diào)
1mA量程:0.1mA ~1mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
(1) 直流數(shù)字電壓表
測(cè)量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字)
(2) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(3) 使用環(huán)境:
相對(duì)濕度≤80%
(4) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)