EDWARDS愛德華EH250羅茨泵卡死維修.愛德華EH250羅茨真空泵主要是指具有一對同步、高速旋轉的鞋底形轉子的真空泵,但是對于其來說不可以單獨抽氣,前級還是需配油封、水環等可直排大氣。其的泵內裝有兩個向相反方向同步運轉的葉形轉子,轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小空隙而互不接觸的一種變容式真空泵。常見故障有;異響,漏油、壓力不足。
產品用途:
廣泛應用于真空鍍膜、微電子、光電半導體、太陽能、冶煉、封裝測試、真空含浸、等離子清洗等行業
產品特點:
1、啟動快,耗功少,運轉維護費用低,抽速大、效率高;
2、被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,在100~1帕壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體;
3、泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;
4、泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
5、轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙
6、不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。牢靠且防腐蝕。良好的軸封技術,處理艙中不會出現油污染、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造
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