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巴魯夫直線位移傳感器
基于傳統的位移傳感器校準存在摩擦、空程等缺陷問題，提出了一種量程為0~3000mm 高精度校準方案。該方案以激光干涉儀為基準，直線電機配合氣浮導軌為驅動單元，創新型光柵實現閉環控制，使定位精度在3μm/m量級。位移傳感器校準時，通過六個自由度的可調夾具，使位移傳感器運動方向與標準測量方向在同一條直線上，可實現阿貝誤差的大化消除。尤其針對特殊的浮子式傳感器校準，通過設計夾具配合支撐點消除變形的校準方式，解決了測桿在校準過程存在的形變難題。同時，校準裝置不確定度的評定和驗證，表明該校準方法可行有效。
關鍵詞：大量程；高精度；位移傳感器；校準；浮子式
鑒于此，本文以高精度、大量程、自動化為目標，采用激光干涉儀作為基準，直線電機作為驅動單元，氣浮導軌作為運動單位，光柵尺實現閉環控制方式，自動采集和處理校準數據，以實現位移傳感器的自動化校準。此外，針對浮子式位移傳感器測桿變形問題，設計夾具配合支撐點消除變形的校準方式，其中，夾具由升降V 形組合體、浮子傳感器磁環組合體、滑輪支撐組合體，T 形槽板四部分組成，可實現六個自由度旋轉調整。該校準技術可根據桿的彎曲情況選擇合適的位置點滑輪支撐組合體，通過后期微調夾具，解決浮球式傳感器在校準過程中存在的測桿撓度難題。
巴魯夫直線位移傳感器
主營德國進口備件:巴魯夫BALLUFF
圖爾克TURK、
倍加福P+F
西克SICK、
FIAMA MTS、 SMC
易福門IFM、
皮爾茲Pilz 、費斯托FESTO
美國邦納Banner 杰佛倫 gefran 等