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研究論文RESEARCH
1 位移傳感器組成原理
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
巴魯夫直線位移傳感器
位移傳感器是用來測量位移、距離、位置和應(yīng)變量等長度尺寸的計量器具。以浮子式位移傳感器（圖1）為例，它由電纜、波導(dǎo)絲、測桿、浮子等元器件組成。位移傳感器輸出主要形式為電信號，如：不同頻率的脈沖
信號、電壓或電流等模擬量，也有部分位移傳感器集成了信號轉(zhuǎn)化功能，直接以數(shù)字方式或其他方式輸出長度值。其校準(zhǔn)技術(shù)JJF1305–2011《線位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)范中只給出了安裝原則，卻沒有給出具體的實施
方案[4]，因此位移傳感器的校準(zhǔn)技術(shù)研究非常必要。
2 校準(zhǔn)系統(tǒng)的硬件組成
位移傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)硬件主要由激光干涉儀、光柵尺、校準(zhǔn)臺、位移驅(qū)動控制系統(tǒng)、夾具組件等組成，以激光干涉儀為基準(zhǔn)，以高精度氣浮導(dǎo)軌作為運動單元，通過直線電機(jī)帶動氣吸附滑塊在導(dǎo)軌上運動，給出水平運動方向的標(biāo)準(zhǔn)長度量，并配合夾具，實現(xiàn)位移傳感器自動校準(zhǔn)。
2.1 激光干涉系統(tǒng)
干涉儀光束進(jìn)入線性干涉鏡被分成兩束。一束光被引向裝在分光鏡上的反射鏡，另一束光則穿過分光鏡到達(dá)第2 個反射鏡，終兩束光都被反射回分光鏡，在此它們重新組合并被導(dǎo)回激光頭產(chǎn)生干涉。在線性測量過程中，一個光學(xué)組件保持靜止不動，另一個光學(xué)組件沿線性軸移動。通過監(jiān)測測量光束和參考光束之間的光路差異的變化，產(chǎn)生定位精度測量值。
巴魯夫直線位移傳感器
主營德國進(jìn)口備件:巴魯夫BALLUFF
圖爾克TURK、
倍加福P+F
西克SICK、
FIAMA MTS、 SMC
易福門IFM、
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