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巴魯夫直線位移傳感器
由此可見,莫爾條紋的間距與光柵的柵距成正比,同時還具有以下幾點特點:
(1)莫爾條紋具有放大作用。由上式可知,莫爾條紋的間距B是光柵柵距W的1/θ,由于θ很小(小于10'),因此B>>W。例如,當柵距為W=0.01mm,θ=0.001rad時,莫爾條紋的間距B=10mm。所以,不需要經過復雜的光學系統,就能把光柵的柵距轉換成放大了很多倍的莫爾條紋的寬度(例中放大了1000倍),從而大大的簡化了電子放大線路,這時光柵技術*的特點。
(2)莫爾條紋具有勻化誤差的作用。莫爾條紋由若干線紋組成,若光電元件接受長度為10mm,當W=0.01mm時,10mm寬的莫爾條紋就由1000條線紋組成。因此,制造上的誤差或缺陷,只會影響千分之幾的光電效果。所以,莫爾條紋測量長度時,決定其精度的不是一條線紋,而是一組線紋的平均效應。
(3)莫爾條紋的變化具有一定的規律。長短兩光柵相對移動一個柵距W,莫爾條紋就移動一個條紋間距B,即光柵某一固定點的光按明→暗→明的規律交替變化一次。光電元件只要讀出移動的莫爾條紋的條紋數,就知道光柵移動了多少柵距,也就知道了運動部件的準確位移量。
2.光柵的信號處理與辨向
在移動過程中,經過光柵的光線,其光強呈正(余)弦函數變化,反映莫爾條紋的移動的光信號由光電元件接收轉換成近似正(余)弦函數的電壓信號。
經信號處理裝置整形、放大及微分處理后,即可輸出與檢測位移成比例的脈沖信號,如下圖所示:
巴魯夫直線位移傳感器