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深圳市浚海中儀科技有限公司
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AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風棒

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌Wolfgang Warmbier/德國

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2019-04-19 19:58:08瀏覽次數:738次

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重量 1kg
AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風棒是一種超低顆粒兼容產品,專為靜電消除應用而開發,AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風棒需要管理100納米或更小的微小顆粒,例如先進的半導體制造工藝。

特點

  • 世界范圍的單晶硅電有的采用效果,避免了由于具有超低顆粒特性的電極材料而導致的金屬污染風險
  • 高電荷去除性能,使用*的MP(脈沖調制)方法有效地將離子傳輸到目標
  • 小的電位擺動特性,即使在100 mm距離和離子平衡時也可以使用,并且在橫桿長度上的偏置較小
  • 通過智能控制電路隨時自動控制離子發生狀態和離子平衡
  • 可拆卸的電極可以1/4轉動移動,有助于減少維護工時
  • MP系統極小的電位擺動簡化了設置,小電位擺動有效地保持了控制標準內的長期離子平衡。
  • 根據EFEM進行半導體預處理設置條的長度
  • 緊湊型設計,內置24V直流驅動控制器
  • 范圍內提供高級支持網絡

 

規范

型號5635 AeroBar MP

輸入電壓24V DC +/- 10%
輸出電壓高達約13.5kv pp可調
安裝距離100mm至1000mm(無空氣吹掃)
離子發生系統電暈放電方法
MP(脈沖調制)方法調制頻率1至33 Hz
離子平衡自動平衡調整方法
<±10 V在條形差異中的位置<±10 V 
(600 mm距離)
電極單晶硅電極可更換
吹掃氣體清潔干燥空氣或N2
大吹掃壓力310 Kpa
臭氧量<0.05 ppm(24小時積分值)
信號輸出報警IO開路集電極輸出
高度78mm x深度34mm x長度在下方
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
mm
外觀ABS樹脂

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