自1968年臺階儀Dektak Ⅰ面世以來，迄今已有50多年的發(fā)展歷程。通過整合技術(shù)，突破創(chuàng)新，Dektak系列臺階儀已經(jīng)來到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak 產(chǎn)品在過去五十年不斷的技術(shù)創(chuàng)新，得到眾多使用客戶的認可。

圖1                                   圖2

臺階高度重現(xiàn)性低于 4 ?

Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀， single-arch 設計及智能電子器件，大大改善了設備穩(wěn)定性，進一步提高防震性能。Dektak XT在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺階高度重復性可低于4?。使用 single-arch 結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設計更加穩(wěn)固，降低了對不利環(huán)境條件的敏感性，如聲音和震動噪音。

方便的更換探針技術(shù)讓一切變得輕松

對多用戶儀器而言，能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak臺階儀的轉(zhuǎn)接頭和探針通過強磁吸附進行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單、方便、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動校準，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一技術(shù)讓其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求，Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規(guī)格，包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

圖3

LVDT:主流的微位移傳感技術(shù)廣泛應用于航空航天等領域

作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理，即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動變壓器（圖4），其優(yōu)勢包括：無摩擦測量、延長機械壽命、提高分辨率、零位可重復性、軸向抑制、堅固耐用、環(huán)境適應性、輸入/輸出隔離。

圖4

帶機械臂的全自動傳片臺階儀

全自動型臺階儀（cassette-to-cassette臺階儀），將Bruker DektakXTL臺階儀系統(tǒng)和機械傳送臂相結(jié)合（圖5），實現(xiàn)了全自動上下片，通過圖形識別等功能實現(xiàn)自動準確定位（樣品定位精度在±5微米），自動檢測，數(shù)據(jù)自動輸出和上傳，減少人工成本和人員誤差，可以實現(xiàn)75mm到300mm晶圓檢測全自動化。為半導體行業(yè)在工藝開發(fā)，質(zhì)量保證與質(zhì)量控制應用方面進行了優(yōu)化。

圖5

臺階儀主要用于材料表面的2D，3D測量，可以測試臺階高度，表面粗糙度；同時也適合材料表面溝槽深度的測試；能夠在微電子，半導體及化合物半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。Dektak臺階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現(xiàn)性和1nm-1mm的測量范圍。

圖6

圖7